大参 宏昌 | 大阪大学 大学院工学研究科
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概要
関連著者
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安武 潔
大阪大学 大学院工学研究科
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大参 宏昌
大阪大学 大学院工学研究科
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阿武 潔
大阪大学大学院工学研究科
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大参 宏昌
大阪大学大学院工学研究科
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垣内 弘章
大阪大学 大学院工学研究科
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垣内 弘章
大阪大学大学院工学研究科
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垣内 弘章
大阪大学工学部
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芳井 熊安
大阪大学大学院工学研究科
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芳井 熊安
大阪大学工学部精密工学科
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吉井 熊安
大阪大学工学部
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安武 潔
大阪大学大学院工学研究科
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森 勇藏
大阪大学大学院 工学研究科
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森 勇藏
大阪大学大学院工学研究科
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竹内 昭博
大阪大学大学院
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森 勇蔵
大阪大学大学院工学研究科
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清水 正男
(株)日本アイ・ビー・エム
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森 勇蔵
大阪大学工学部精密工学科
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清水 正男
日本IBM
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中濱 康治
シャープ(株)
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和田 勝男
株式会社シリコンテクノロジー
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江畑 裕介
シャープ(株)
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和田 勝男
(株)シリコンテクノロジー
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森 勇蔵
大阪大 工
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森 勇臓
大阪大学大学院工学研究所
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安武 潔
大阪大学
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松井 優貴
大阪大学大学院
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森 勇蔵
大阪大学 工学部
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広瀬 喜久治
阪大院工
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稲垣 耕司
阪大院工
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志村 考功
大阪大学大学院工学研究科
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中村 恒夫
シャープ(株)
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中澤 弘一
大阪大学大学院工学研究科
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吉本 千秋
大阪大学大学院工学研究科
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渡部 平司
大阪大学大学院工学研究科
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竹内 博明
シャープ(株)
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北條 義之
シャープ(株)
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古川 和彦
シャープ(株)
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安武 潔
阪大院工
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垣内 弘章
阪大院工
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大参 宏昌
阪大院工
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芳井 熊安
阪大院工
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山本 達志
シャープ(株)
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中濱 康冶
シャープ(株)
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清水 正男
日本アイ・ビー・エム(株)
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田中 亮
大阪大学
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村上 健
大阪大学
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安川 貴清
大阪大学大学院
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岩井 敬文
阪大院・工
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大参 宏昌
阪大院・工
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竹内 昭博
阪大院・工
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垣内 弘章
阪大院・工
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安武 潔
阪大院・工
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芳井 熊安
阪大院・工
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森 勇藏
阪大院・工
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角谷 哲司
大阪大学大学院
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稲垣 耕司
阪大院工:jst-crest
著作論文
- 大気圧プラズマCVDにより高速形成した多結晶Si薄膜の構造に対するSiH_4濃度の影響
- 大気圧プラズマCVDによる多結晶Siの高速成膜プロセスにおける成膜速度の決定因子
- 大気圧プラズマCVD法によるアモルファスSiCの高速成膜に関する研究(第2報) : 成膜パラメータの最適化による膜構造の改善
- 大気圧プラズマCVD法により高速形成したSiN_x薄膜の構造と成膜パラメータの相関
- Ge微結晶核を用いた多結晶Si薄膜形成(TFTの材料・デバイス技術・応用及び一般)
- 大気圧プラズマを用いた低温・高速成膜技術 (特集 プラズマプロセスの応用技術)
- 大気圧・超高周波プラズマを用いた微結晶Siの低温・高速成膜
- フィルムコーテイングのための大気圧・超高周波プラズマ技術 (特集 気相薄膜形成技術)
- 大気圧プラズマCVD法によるSiの低温・高速エピタキシャル成長
- 大気圧プラズマCVDによる機能薄膜の高速・低温形成技術 (特集1 大気圧プラズマの生成,計測と産業応用)
- 大気圧プラズマCVDによる超高速形成アモルファスSiを発電層とした薄膜太陽電池の基礎特性
- 大気圧プラズマCVD法によるSiN_xの成膜特性
- 回転電極型大気圧プラズマCVD法による多結晶Siの成膜特性
- 20pYD-12 第一原理分子動力学法による CVD エピタキシャル Si 成長初期過程の研究
- 大気圧プラズマCVD法によるエピタキシャルSiの低温かつ高速成長(第1報) : エピタキシャルSi成長条件の検討
- 大気圧プラズマCVD法によるSiNx薄膜の高速形成に関する研究 : NH_3/SiH_4比の最適化
- 大気圧プラズマCVDによるSiの低温・高速エピタキシャル成長(第3報) : 成膜速度と温度の関係
- 大気圧プラズマCVDによるSiの低温・高速エピタキシャル成長(第2報):成膜温度と投入電力が結晶性に及ぼす影響
- 大気圧プラズマCVDによるSiの高速エピタキシャルの成長
- ナノ構造作製へ向けた単色原子ビームの生成
- 注入同期法による色素レーザの増幅
- Li原子ビームのレーザコリメーション
- 中性原子ビーム速度分光装置の開発
- レーザー冷却法を用いた異方性ドライエッチングプロセスの開発 : フッ素ラジカルの生成と準安定状態の寿命測定
- 原子光学用レーザーの周波数安定化と光の増幅
- 単色Li原子ビームの生成とナノリソグラフィーへの応用
- レーザー冷却法を用いた異方性ドライエッチングプロセスの開発
- 中性原子ビームのコリメーションとナノリソグラフィーへの応用
- レーザー冷却法による中性原子ビームのコリメーション
- 大気圧プラズマCVDによるSi高速成膜と太陽電池への応用 (特集 大気圧プラズマと注目の応用)