中濱 康治 | シャープ(株)
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概要
関連著者
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垣内 弘章
大阪大学大学院工学研究科
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中濱 康治
シャープ(株)
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芳井 熊安
大阪大学大学院工学研究科
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安武 潔
大阪大学 大学院工学研究科
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垣内 弘章
大阪大学 大学院工学研究科
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垣内 弘章
大阪大学工学部
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吉井 熊安
大阪大学工学部
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阿武 潔
大阪大学大学院工学研究科
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芳井 熊安
大阪大学工学部精密工学科
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森 勇藏
大阪大学大学院 工学研究科
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森 勇藏
大阪大学大学院工学研究科
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大参 宏昌
大阪大学大学院工学研究科
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安武 潔
大阪大学大学院工学研究科
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大参 宏昌
大阪大学 大学院工学研究科
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森 勇蔵
大阪大学工学部精密工学科
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江畑 裕介
シャープ(株)
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森 勇蔵
大阪大 工
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森 勇臓
大阪大学大学院工学研究所
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森 勇蔵
大阪大学大学院工学研究科
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安武 潔
大阪大学
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山本 達志
シャープ(株)
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山本 達志
シャープ(株)精密技術開発センター
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森 勇蔵
大阪大学 工学部
著作論文
- 大気圧プラズマCVDにより高速形成した多結晶Si薄膜の構造に対するSiH_4濃度の影響
- 大気圧プラズマCVDによる多結晶Siの高速成膜プロセスにおける成膜速度の決定因子
- 大気圧プラズマCVD法により高速形成したSiN_x薄膜の構造と成膜パラメータの相関
- 大気圧プラズマCVD法によるSiN_xの成膜特性
- 回転電極型大気圧プラズマCVD法による多結晶Siの成膜特性
- 回転電極型大気圧プラズマCVD法によるSiN-X膜の成膜に関する研究(SiH4/NH3系成膜)
- 回転電極型大気圧プラズマCVD法によるSiNx膜の成膜過程に関する研究