山本 達志 | シャープ(株)
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概要
関連著者
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山本 達志
シャープ(株)
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森 勇蔵
大阪大学大学院工学研究科
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垣内 弘章
大阪大学大学院工学研究科
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芳井 熊安
大阪大学大学院工学研究科
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安武 潔
大阪大学 大学院工学研究科
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安武 潔
大阪大学
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垣内 弘章
大阪大学 大学院工学研究科
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山本 達志
シャープ(株)精密技術開発センター
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垣内 弘章
大阪大学工学部
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吉井 熊安
大阪大学工学部
著作論文
- 大気圧プラズマCVD法によるSiNx薄膜の高速形成に関する研究 : NH_3/SiH_4比の最適化
- ソレノイドの導体断面における電流密度分布の検討 : 磁性メッキの効果について
- 回転電極型大気圧プラズマCVD法によるSiN-X膜の成膜に関する研究(SiH4/NH3系成膜)
- 回転電極型大気圧プラズマCVD法によるSiNx膜の成膜過程に関する研究