20aTF-1 表面原子エッチングプロセスにおけるバックボンド弱体化機構のBond order DOSによる解析
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 2001-09-03
著者
-
山内 和人
阪大院工
-
広瀬 喜久治
阪大工
-
森 勇藏
阪大工
-
神尾 崇
阪大工
-
稲垣 耕司
阪大工
-
杉山 和久
高知高専専門学校
-
杉山 和久
高知高専
-
中越 亮佑
大阪大学大学院工学研究科
-
稲垣 耕司
大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻
-
山内 和人
阪大工
-
中越 亮佑
阪大工
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