高周波スパッタ蒸着法による多結晶Siの低温成膜に関する研究(第2報) : Si薄膜の構造および電気・光学特性
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概要
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- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1997-02-05
著者
-
森 勇藏
大阪大学大学院工学研究科
-
広瀬 喜久治
大阪大学大学院工学研究科
-
竹内 昭博
大阪大学大学院
-
森 勇藏
大阪大学大学院 工学研究科
-
垣内 弘章
大阪大学大学院工学研究科
-
安武 潔
大阪大学大学院工学研究科
-
芳井 熊安
大阪大学大学院工学研究科
-
安武 潔
大阪大学 大学院工学研究科
-
芳井 熊安
大阪大学工学部精密工学科
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