光反射率スペクトルによるSi自然酸化表面の酸化膜厚およびひずみの計測
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概要
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- 1995-03-05
著者
-
森 勇藏
大阪大学工学部
-
山内 和人
大阪大学工学研究科
-
広瀬 喜久治
大阪国際女子大学
-
片岡 俊彦
大阪大 大学院工学研究科
-
遠藤 勝義
大阪大学工学部
-
片岡 俊彦
大阪大学工学研究科
-
山村 和也
大阪大学工学部精密工学科
-
稲垣 耕司
(株)ユーハ味覚糖精密工学研究所
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