プラズマCVMプロセス中のCF, CF_2ラジカルの分光計測 : レーザー誘起蛍光分光と紫外線吸収分光とによるラジカル密度分布診断
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概要
- 論文の詳細を見る
- 2002-10-01
著者
-
遠藤 勝義
阪大院工
-
山村 和也
阪大院工
-
森 勇藏
大阪大学大学院 工学研究科
-
森 勇蔵
大阪大学工学部精密工学科
-
押鐘 寧
阪大院工
-
片岡 俊彦
阪大院工
-
佐藤 慎也
阪大院工
-
押鐘 寧
大阪大 大学院工学研究科
-
森 勇藏
阪大院工
-
片岡 俊彦
大阪大 大学院工学研究科
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