PS-PDI(Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer)による高精度形状計測法の開発
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概要
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- 2000-03-01
著者
-
遠藤 勝義
阪大院工
-
野口 彰宏
大阪大学大学院工学研究科
-
押鐘 寧
阪大院工
-
片岡 俊彦
阪大院工
-
井上 晴行
阪大院工
-
野口 彰宏
阪大院
-
片岡 俊彦
大阪大 大学院工学研究科
-
池田 和浩
阪大院
-
遠藤 勝義
阪大院・工
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