高分解能レーザー光法を用いた大気圧・高周波CVMプラズマ中のCF_xラジカル粒子の時空間分解密度計測
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概要
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- 2000-09-01
著者
-
遠藤 勝義
阪大院工
-
川島 祥一
大阪大学大学院工学研究科
-
押鐘 寧
阪大院工
-
片岡 俊彦
阪大院工
-
井上 晴行
阪大院工
-
押鐘 寧
大阪大 大学院工学研究科
-
横山 能幸
阪大院
-
川島 祥一
阪大院
-
片岡 俊彦
大阪大 大学院工学研究科
-
遠藤 勝義
阪大院・工
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