Si(111)基板上AlN単結晶薄膜のドーピングに関する研究
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概要
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- 1997-10-01
著者
-
宮川 治
大阪大学
-
竹内 昭博
大阪大学大学院
-
芳井 熊安
大阪大学大学院工学研究科
-
安武 潔
大阪大学 大学院工学研究科
-
安武 潔
大阪大学
-
垣内 弘章
大阪大学 大学院工学研究科
-
吉井 熊安
大阪大学工学部
-
浅香 浩
大阪大学
-
芳井 熊安
大阪大学工学部精密工学科
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