ラジカルソースMBE法によるSi(111)基板上AIN薄膜の成長第2報)-成膜条件の最適化-
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概要
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- 1996-09-01
著者
-
竹内 昭博
大阪大学大学院
-
垣内 弘章
大阪大学大学院工学研究科
-
安武 潔
大阪大学大学院工学研究科
-
芳井 熊安
大阪大学大学院工学研究科
-
安武 潔
大阪大学 大学院工学研究科
-
垣内 弘章
大阪大学 大学院工学研究科
-
萩原 琢也
大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻
-
芳井 熊安
大阪大学工学部精密工学科
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