スパッタ法により作製したa-Si( : H)/a-SiC( : H)超格子薄膜の量子井戸効果
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概要
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- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1994-03-05
著者
-
芳井 熊安
大阪大学大学院工学研究科
-
芳井 熊安
大阪大学工学部
-
川辺 秀昭
大阪大学工学部
-
垣内 弘章
大阪大学工学部
-
須崎 嘉文
高松工業高等専門学校高機能化技術教育研究センター
-
鹿間 共一
高松工業高等専門学校
-
川辺 秀昭
大阪職業能力開発短期大学校
-
鹿間 共一
高松高専
-
芳井 熊安
大阪大学工学部精密工学科
-
鹿間 共一
高松工業高等専門学校高機能化技術教育研究センター
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