マイクロ・ナノスケール単結晶シリコンの高サイクル疲労寿命評価

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 2004-02-27

著者

• 生津 資大

  兵庫県大

• 磯野 吉正

  立命館大学理工学部

• 磯野 吉正

  神戸大学

• 磯野 吉正

  立命館大学

• 磯野 吉正

  立命館大学理工学部機械工学科

• 生津 資大

  姫路工業大学

関連論文

• 436 薄膜材料を対象とした二軸引張試験技術の開発(T09-3 微小機械システムにおけるマイクロ・ナノ力学(3) マイクロ・ナノ実験力学,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
• シリコン添加水素化アモルファスカーボン薄膜の機械的性質に及ぼす膜構成元素の影響
• 113 AFM 内引張り試験装置の開発による DLC 薄膜の力学特性評価
• a-SiC薄膜およびDLC/a-SiC積層薄膜の付着強度評価クライテリオンの検討
• DLC/a-SiC積層薄膜の付着強度評価クライテリオンの検討
• ダイヤモンドライクカーボン薄膜のマイクロトライボロジ特性に及ぼす膜構造の影響
• 熱陰極PIGプラズマCVD法で作製したダイヤモンドライクカーボン薄膜のトライボロジ特性評価 : (摩擦実験および分子動力学法による検討)
• DLC/TMS-SiC積層薄膜の付着強度評価
• 130 DLC/TMS-SiC 積層薄膜の付着強度評価
• 426 MHz帯域RF-MEMS共振器の設計開発(T09-1 微小機械システムにおけるマイクロ・ナノ力学(1) MEMSにおけるマイクロ・ナノ力学,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
• T0302-2-2 変断面両端固定梁を有する静電駆動MEMS共振器の簡易設計手法の構築(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(2))
• 易流動性液体の漏れ防止に関する研究(第2報) -バルブの角だれが漏れ量に及ぼす影響について-
• T0302-1-4 Al/Ni発熱多層膜を含むAgSnはんだ接合部材の強度評価(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(1))
• 437 Ag-Snはんだ接合微小要素の強度試験(T09-3 微小機械システムにおけるマイクロ・ナノ力学(3) マイクロ・ナノ実験力学,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
• MEMS片持梁の疲労特性に関する研究 : 実デバイスを用いた加速劣化試験と機械的FIT数の導出
• MEMS片持梁の疲労特性に関する研究 : 実デバイスを用いた加速劣化試験と機械的FIT数の導出(光部品の実装・信頼性, 一般)
• MEMS片持梁の疲労特性に関する研究 : 実デバイスを用いた加速劣化試験と機械的FIT数の導出(光部品の実装・信頼性, 一般)
• パラレルAFMリソグラフィー用カンチレバーの製作
• プローブナノリソグラフィーによる単電子トランジスタの開発
• 24・1 マイクロ/ナノ材料力学・破壊力学(24.マイクロ・ナノ工学,機械工学年鑑)
• 427 単結晶シリコン材料のピエゾ抵抗物性シミュレーション(T09-1 微小機械システムにおけるマイクロ・ナノ力学(1) MEMSにおけるマイクロ・ナノ力学,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
• UV厚膜レジストを用いた高密度実装用マイクロコネクタの製作と特性評価
• T0302-1-3 環境制御型引張試験システムを用いたAl合金薄膜の機械的特性評価(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(1))
• ZrO_2-Y_2O_3の強じん化に対する相変態と仕上げ面粗さの寄与について
• マイクロ・ナノ単結晶Siの高サイクル疲労試験と疲労寿命予測パラメータの提案(S05-1 ナノ・マイクロ材料の強度評価,S05 薄膜の強度物性と信頼性)
• マイクロ・ナノスケール単結晶シリコンの高サイクル疲労寿命評価
• AFMを用いたナノ加工・MEMS材料試験技術の開発
• K-0718 AFM内引張試験機を用いたMEMS材料のひずみ測定技術の開発(G03-3 ナノインデンテーション)(G03 材料力学部門一般講演)
• 729 AFM を用いたナノスケール Si および SiO_2 ビームの高温曲げ試験
• MEMS片持梁の疲労特性に関する研究 : 実デバイスを用いた加速劣化試験と機械的FIT数の導出(光部品の実装・信頼性, 一般)
• MEMS片持梁の疲労特性に関する研究 : 実デバイスを用いた加速劣化試験と機械的FIT数の導出
• MEMS片持梁の疲労特性に関する研究 : 実デバイスを用いた加速劣化試験と機械的FIT数の導出
• 7 分子動力学法による水素含有アモルファスカーボン薄膜の機械的特性評価
• W11(2) MEMSのための材料研究 : マイクロ・ナノ材料評価からデバイス応用まで(最先端MEMS・NEMSとその加工方法)
• 傾斜機能材料の焼結特性の基礎的考察
• ジルコニア/ニッケル複合材料の強度に及ぼす相変態と研削面粗さの影響について
• シリコン添加水素化アモルファスカーボン薄膜の機械的性質に及ぼす膜構成元素の影響
• 燃料噴射バルブのCBNホイール研削加工 : 第2報,油密およびバルブの形状精度と研削加工条件の関係(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
• CBNホイールによる延性材料の冷風研削現象について
• CBNホイールによる軟鋼の冷風研削における研削現象
• 国際会議報告
• 静電駆動式ナノ引張試験デバイスによるカーボンナノワイヤの力学的特性評価
• 切れ刃の丸みの切削ばりへの影響
• 微量血液検査システムのための微小注射針の作製
• マイクロ引張試験チップによるカーボンナノワイヤの機械・電気特性評価に関する研究(S05-1 ナノ・マイクロ材料の強度評価,S05 薄膜の強度物性と信頼性)
• K04 MEMS技術に基づく実験ナノメカニクス
• W01(9) MEMS設計工学の体系化とその必要性(【W01】機械工学におけるマイクロ・ナノ工学)
• 2832 非対称四点曲げ試験法によるマイクロSi構造体のせん断強度評価(S08-2 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開(2),S08 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開)
• 2838 MEMS構成材料の引張り強度評価に関する研究(S08-3 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開(3),S08 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開)
• 実験ナノメカニクスの最前線 : AFM/MEMS技術を利用したナノ材料評価
• AFM技術に基づいたマイクロ材料疲労試験機の開発(S05-1 ナノ・マイクロ材料の強度評価,S05 薄膜の強度物性と信頼性)
• インコネル718の冷風研削における研削現象
• 超砥粒ホイールによる低温研削加工に関する研究(第3報) -軟鋼研削における冷風研削特性について-
• 超砥粒ホイールによる低温研削加工に関する研究(第2報) -冷却方式と研削特性の関連性について-
• K-0704 a-Si:C:H薄膜の微小押込み試験による機械的特性評価(S07-1 薄膜の創製と評価)(S07 表面改質とその機能特性評価)
• 光造形法による砥石の開発と特性評価
• T0302-3-1 Al/Ni発熱反応に基づくAgSn共晶はんだ接着部の強度評価([T0302-3]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(3):微小構造部材の加工・評価)
• 光造形砥石の創製と性能
• 燃料噴射バルブのCBNホイール研削加工 : 第1報, 油蜜量と研削加工により創成する形状・制度の関係
• F02-(2) MEMSのためのマイクロ・ナノスケール材料強度評価(ナノへの挑戦)(材料力学部門企画)
• PZTセラミックスの延性/脆性モード研削の研究
• 工作物温度変化について : 有気孔メタルボンドダイヤモンドホイールの場合
• UV樹脂砥石
• 225 放電プラズマ焼結装置で作製した傾斜機能材料の特性評価と切削工具の開発(OS-2 機械加工(2))
• T0302-3-3 二軸引張試験によるAl-Si-Cu薄膜の降伏曲面に及ぼすアニールの影響([T0302-3]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(3):微小構造部材の加工・評価)
• OS0415 応力印加によるバルクシリコンのバンドひずみとピエゾ抵抗物性への効果(原子スケールモデリングとナノ・マイクロ実験力学(2))
• 636 シリコンナノワイヤーのピエゾ抵抗効果に関する第一原理計算(OS11-1 電子・原子レベルのマルチシミュレーションとその応用)
• ニッケル-銅-すず合金系結合橋の強じん化について : 有気孔メタルボンドダイヤモンドホイールの開発
• OS0405 MEMS技術によるカーボンナノワイヤの力学特性評価とピエゾ抵抗効果の解明(原子スケールモデリングとナノ・マイクロ実験力学(1))
• メタリファイドボンドダイヤモンドホイールの開発と研削性能に関する研究(第5報) -結合橋の強じん化と研削性能の関連性について-
• MNM-P1-3 二軸引張試験によるAl-Si-Cu薄膜の降伏曲面に及ぼすアニールの影響(合同ポスターセッション P1 単結晶・多結晶シリコンの疲労寿命評価とメカニズムの解明)
• 220 紫外線励起によるマシニングの研究 : 基本原理と基礎的現象の検証(OS-2 機械加工(1))
• 218 光造形による研磨砥石の開発とその性能評価(OS-2 機械加工(1))
• PZT系セラミックスのマイクロ研削における微小変形破壊機構
• 第一原理計算に基づくcBNの物性評価(第一報) -原子間ポテンシャルの構築-
• AFMを用いた微小押し込みおよび微細加工の分子動力学解析
• ファインセラミックスの加工特異性に関する研究(第9報)ジルコニア/ニッケル複合材料の創製と研削特性
• 3次元分子動力学法を用いた微細加工機構の解析 : 第2報, 被削材結晶方位が被削性に及ぼす影響
• 光造形法によるナノグラインディングホイールの開発(第一報) -試作アルミナホイールによる2, 3の実験結果-
• 3次元分子動力学法を用いた微細加工機構の解析 : 工具-被削材間の相互作用および環境温度が表面粗さに及ぼす影響
• メタルボンドダイヤモンドホイールの特性と性能に及ぼす金属成分の影響

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク