DLC/a-SiC積層薄膜の付着強度評価クライテリオンの検討

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概要

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• 1999-09-01

著者

• 寺山 暢之

  神港精機(株)

• 磯野 吉正

  立命大理工

• 田中 武司

  立命大理工

• 中 庸行

  立命館大学大学院

• 中 庸行

  立命大理工

• 磯野 吉正

  神戸大学

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