K-0718 AFM内引張試験機を用いたMEMS材料のひずみ測定技術の開発(G03-3 ナノインデンテーション)(G03 材料力学部門一般講演)
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概要
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This paper describes a development of strain measurement technique using micro tensile tester built in AFM. The micro tensile tester was designed for evaluation of Young's modulus and fracture strength of MEMS materials, In tensile test, gauge patterns on the test specimen were directly measured by the AFM. Averaged Young's modulus of Si[110] was 170 GPa, which was in agreement with analytical values calculated from anisotropic theory. This technique is, therefore, efficient to the evaluation of mechanical properties for micro-scaled materials.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2001-08-22
著者
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