K-0718 AFM内引張試験機を用いたMEMS材料のひずみ測定技術の開発(G03-3 ナノインデンテーション)(G03 材料力学部門一般講演)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
This paper describes a development of strain measurement technique using micro tensile tester built in AFM. The micro tensile tester was designed for evaluation of Young's modulus and fracture strength of MEMS materials, In tensile test, gauge patterns on the test specimen were directly measured by the AFM. Averaged Young's modulus of Si[110] was 170 GPa, which was in agreement with analytical values calculated from anisotropic theory. This technique is, therefore, efficient to the evaluation of mechanical properties for micro-scaled materials.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2001-08-22
著者
関連論文
- 436 薄膜材料を対象とした二軸引張試験技術の開発(T09-3 微小機械システムにおけるマイクロ・ナノ力学(3) マイクロ・ナノ実験力学,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 113 AFM 内引張り試験装置の開発による DLC 薄膜の力学特性評価
- a-SiC薄膜およびDLC/a-SiC積層薄膜の付着強度評価クライテリオンの検討
- DLC/a-SiC積層薄膜の付着強度評価クライテリオンの検討
- ダイヤモンドライクカーボン薄膜のマイクロトライボロジ特性に及ぼす膜構造の影響
- 熱陰極PIGプラズマCVD法で作製したダイヤモンドライクカーボン薄膜のトライボロジ特性評価 : (摩擦実験および分子動力学法による検討)
- DLC/TMS-SiC積層薄膜の付着強度評価
- 130 DLC/TMS-SiC 積層薄膜の付着強度評価
- 426 MHz帯域RF-MEMS共振器の設計開発(T09-1 微小機械システムにおけるマイクロ・ナノ力学(1) MEMSにおけるマイクロ・ナノ力学,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- T0302-2-2 変断面両端固定梁を有する静電駆動MEMS共振器の簡易設計手法の構築(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(2))