AFM技術に基づいたマイクロ材料疲労試験機の開発(S05-1 ナノ・マイクロ材料の強度評価,S05 薄膜の強度物性と信頼性)
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概要
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We newly developed a full-reversed bending fatigue tester for evaluating low-cycle fatigue of MEMS materials. This paper focuses on design of the micro fatigue tester based on AFM technique, which can apply tension/compression loads to a microscale specimen of cantilever type, and establishment of the bending fatigue test procedure. The efficacy of the design and driven concept is demonstrated by applying a cyclic loading to the specimen and direct measurement of the applied load of the specimen using a bult-in laser reflection technique. This research succeeded in obtaining an elastic hysteresis loop of microscale specimen.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2004-09-04
著者
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