729 AFM を用いたナノスケール Si および SiO_2 ビームの高温曲げ試験
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概要
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This research makes clear the temperature effect on mechanical properties of micro/nano scale Si beams by using Atomic Force Microscope (AFM). The Si and SiO_2 beam were fabricated on a Si diaphragm by means of field-enhanced anodization with AFM and anisotropic etching. The beams were approximately 200-800nm in width and 255nm in thickness. As a result of bending tests, bending strength and Young's modulus of Si beam in the <110> direction decreased with increasing temperature ranging from 295K to 573K.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2000-07-31
著者
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