OS0405 MEMS技術によるカーボンナノワイヤの力学特性評価とピエゾ抵抗効果の解明(原子スケールモデリングとナノ・マイクロ実験力学(1))
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概要
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ナノメカニカルセンサの開発を目指して、MEMSデバイスを用いたアモルファスカーボンナノワイヤ(CNW)の力学的・電気的特性評価を実施した。具体的には、MEMS技術を用いて開発した静電駆動型ナノ材料引張試験デバイスを用いて、FIB-CVD法によって作製した直径約100nmのCNWの機械的性質および弾塑性変形挙動を実験的に解明するとともに、CNWの単軸応力下における電気抵抗特性であるピエゾ抵抗効果について検討した。
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2008-09-16
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