高エネルギー・高密度イオン注入によって作製したTiNの特性評価
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概要
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- 1999-05-01
著者
-
山崎 徹
兵庫県立大学大学院工学研究科物質系工学専攻
-
八束 充保
姫路工業大学工学部
-
内田 仁
姫路工業大学工学部
-
八束 充保
姫路工業大学 大学院工学研究科電気系工学
-
山崎 徹
姫路工業大学工学部材料工学科
-
三木 真一
姫路工業大学
-
橋本 好幸
神戸市立工業高等専門学校
-
橋本 好幸
神戸高専
-
橋本 好幸
神戸市立高専
-
山崎 徹
兵庫県立大学大学院工学研究科
-
山崎 徹
姫路工業大学
-
内田 仁
姫路工業大学工学部機械工学科
-
橋本 好幸
神戸市工高専
-
橋本 好幸
神戸市立工業高等専門学校 電子工学科
-
内田 仁
姫路工業大学
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