プラズマイオン注入成膜法で作製したDLC膜中のピンホール欠陥の評価と抑制
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概要
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- 2006-11-10
著者
-
内田 仁
兵庫県立大学大学院 工学研究科
-
藤原 閲夫
兵庫県立大学
-
八束 充保
兵庫県立大学
-
藤原 閲夫
兵庫県立大学 工学研究科
-
八束 充保
姫路工業大学工学部
-
内田 仁
兵庫県立大学大学院工学研究科
-
八束 充保
兵庫県立大院工
-
八束 充保
兵庫県立大学大学院工学研究科電気系工学専攻
-
西野 航
兵庫県立大学
-
八束 充保
兵庫県大
-
八束 充保
兵庫県立大・大学院
-
内田 仁
兵庫県立大学大学院
-
内田 仁
兵庫県立大学
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