大気圧線状グロー放電プラズマ装置の開発とアモルファスカーボン成膜実験
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概要
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- 2011-12-15
著者
-
八束 充保
兵庫県立大学
-
松尾 吉晃
兵庫県立大学
-
永田 正義
兵庫県立大学
-
菊池 祐介
兵庫県立大学
-
八束 充保
兵庫県立大・大学院
-
菊池 祐介
兵庫県立大
-
福井 経太
兵庫県立大学
-
西村 芳実
(株) 栗田製作所
-
堀口 恭光
(株) 栗田製作所
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