プラズマイオン注入を用いて作製したDLC膜の密着強度評価
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概要
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High-adhesion diamond-like carbon (DLC) film was prepared by a hybrid process of plasma-based ion implantation and deposition using superimposed RF and high-voltage pulses. The adhesion strength of DLC film on a stainless steel (SUS304) was enhanced by the carbon ion implantation to the substrate. Furthermore, ion implantation of mixed carbon and silicon led to considerable enhancement of adhesion strength above the resin glue strength. The adhesion strength of DLC film on the aluminum alloy (A-5052) was improved above the resin glue strength only by the carbon ion implantation to the substrate.
- 社団法人 電気学会の論文
- 2006-08-01
著者
-
岡 好浩
兵庫県立大学
-
八束 充保
兵庫県立大学
-
岡 好浩
兵庫県立大院工
-
八束 充保
兵庫県立大院工
-
八束 充保
兵庫県立大学大学院工学研究科電気系工学専攻
-
岡好 浩
兵庫県立大学
-
八束 充保
兵庫県大
-
八束 充保
兵庫県立大・大学院
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