プラズマイオン注入成膜法による超厚膜DLCの作製
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概要
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- 2003-09-20
著者
-
藤原 閲夫
兵庫県立大学
-
八束 充保
姫路工業大学工学部
-
岡 好浩
兵庫県立大院工
-
岡 好浩
姫路工業大学大学院
-
八束 充保
兵庫県立大院工
-
八束 充保
兵庫県立大学大学院工学研究科電気系工学専攻
-
八束 充保
姫路工業大学 大学院工学研究科電気系工学
-
東 欣吾
姫路工大
-
西村 芳実
(株)栗田製作所
-
東 欣吾
姫路工業大学 大学院工学研究科
-
藤原 閲夫
姫路工業大学 大学院工学研究科
-
西村 芳実
栗田製作所
-
岡好 浩
兵庫県立大学
-
八束 充保
兵庫県大
-
西村 芳実
株式会社栗田製作所
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