24aB11P 2段式誘導結合型高周波プラズマの外部磁場印加特性(プラズマ応用、慣性核融合, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
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概要
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- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 2004-11-20
著者
-
永田 正義
兵庫県立大学大学院工学研究科
-
福本 直之
兵庫県立大学
-
浅野 学
兵庫県立大院工
-
笠井 一夫
住友精密工業(株) マイクロテクノロジー事業部技術部
-
永田 正義
兵庫県立大学
-
永田 正義
阪大・工
-
笠井 一夫
住友精密工業
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