藤原 閲夫 | 兵庫県立大学 工学研究科

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著作論文

• RF・高電圧パルス重畳PBIID法における二次電子発生とプラズマ発光
• RF・高電圧パルス重畳PBIID法における立体形状表面近傍のプラズマ発光
• プラズマイオン注入・成膜法を用いて作製したSiC_x膜の特性評価
• プラズマイオン注入・成膜法を用いて作製したDLC膜の体積抵抗率特性
• プラズマイオン注入成膜法で作製したDLC膜中のピンホール欠陥の評価と抑制
• 物質を原子レベルで観るXFEL施設 : —発振間際のX線自由電子レーザ計画—
• 高速金属液滴発生技術
• 溶融錫液滴ターゲットの発生と飛行方向の制御
• プロジェクト研究と初夢
• 水素・アルゴン混合パルスプラズマによるスズ薄膜のエッチングに関する研究

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