東 欣吾 | 兵庫県立大
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概要
関連著者
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東 欣吾
兵庫県立大
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東 欣吾
兵庫県立大学
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行村 建
同志社大工
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行村 健
産業技術総合研究所
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行村 建
産業技術総合研
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行村 建
産業技術総合研究所
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行村 建
同志社大学
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池畑 隆
茨城大学
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玉垣 浩
(株)神戸製鋼所
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沖本 忠雄
(株)神戸製鋼所
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奥原 大地
兵庫県立大学
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中野 禅
産業技術総合研究所
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赤松 浩
神戸高専
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小木曽 久人
産業技術総合研究所
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中野 禅
産業技術総合研
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赤松 浩
神戸市立工業高等専門学校
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樋口 徹
兵庫県立大学
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佐藤 直幸
茨城大学
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小木曽 久人
産総研
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小木曽 久人
(独)産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門集積加工研究グループ
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井上 祐輔
兵庫県立大学
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池畑 隆
茨城大学大学院理工学研究科応用粒子線科学専攻
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三枝 亮介
同志社大学
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行村 建
同志社大学工学部
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市川 和典
神戸高専
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尾ノ井 正裕
金属技研
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東 欣吾
姫路工大
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東 欣吾
姫路工業大学 大学院工学研究科
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佐久間 雄基
同志社大学
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野中 裕彌
茨城大学
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根本 翔
茨城大学
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中尾 領揮
茨城大学
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尾ノ井 正裕
兵庫県立大・大学院
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金田 知大
神戸高専
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安藤 龍哉
茨城大学
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深澤 孝嘉
茨城大学
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藤原 閲夫
兵庫県立大学
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藤原 閲夫
兵庫県立大学 工学研究科
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佐藤 広輝
茨城大学
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平栗 健二
東京電機大学
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坂本 仁志
半一
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五十川 敬
三共製作所
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雫 二公雄
三共製作所
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原 史朗
産業技術総合研究所
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諸岡 正人
茨城大学
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行村 建
(株)神戸製鋼所
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原 史朗
独立行政法人産業技術総合研究所
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平栗 健二
東京電機大 大学院
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河合 直聡
兵庫県立大学
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中島 章孝
兵庫県立大学
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原 史朗
産業技術総合研
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EHIASARIAN Arutiun
Sheffield Hallam University
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原 史朗
独立行政法人 産業技術総合研究所
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東 欣吾
兵庫県立大学 工学研究科
著作論文
- ハイパワーパルススパッタ(HPPS)グロー放電とパルスRF誘導プラズマ結合プラズマの電気的相互作用
- 大気圧プラズマジェットによる水溶性有機物の分解
- 不織布へのDLC薄膜成膜装置の開発(I) : プラズマの電気的特性
- ハイパワーパルススパッタ(HPPS)グロー放電プラズマの放電開始特性
- デュアルプラズマ配位の形成に対するグリッド粗さと印加電圧の効果
- デュアルプラズマイオンプロセスにおける絶縁性基材の帯電制御
- デュアルプラズマ含浸イオンプロセスによる絶縁物の表面処理
- 対向電極型HPPSグロープラズマ源が放出するプラズマ流の電流電圧特性
- 誘導結合型RFパルス放電を重畳させたハイパワーパルススパッタ(HPPS)グロー放電のアルゴン雰囲気下における電気的特性
- 対向電極型ハイパワーパルススパッタ(HPPS)グロー放電からの金属イオンの引き出しおよび基材面における発光スペクトル
- 発光スペクトルにみるハイパワーパルススパッタ(HPPS)グロー放電における磁界の効果
- ハイパワーパルススパッタグロー放電(HPPS)から引き出されたプラズマとイオン電流に関する検討
- ハイパワーパルススパッタグロー放電(HPPS)におけるプラズマ負荷特性の検討
- 水素・アルゴン混合パルスプラズマによるスズ薄膜のエッチングに関する研究
- 大面積容量結合型高周波プラズマへの束縛条件付き補間プロファイル法の適用可能性の検討
- 大気圧プラズマジェットへの投入エネルギーの増大
- 大電力パルスマグネトロンスパッタによる高密度メタルプラズマの生成と空間分布
- 対向電極型ハイパワーパルススパッタグロー放電における静電シールドの効果
- ハイパワーパルスマグネトロンスパッタプラズマ源のガス圧力依存性
- 束縛条件付き補間プロファイル法による一次元荷電粒子流の流体的解析
- 対向電極型大電力パルススパッタグロー放電のガス変化における発光スペクトルの解析
- 誘導結合型RFパルス放電を重畳させたハイパワーパルススパッタ(HPPS)グロー放電のアルゴン/窒素雰囲気下における電気的特性
- Metal Ionization in a High-Power Pulsed Sputtering (HPPS) Penning Discharge
- 大電力パルスマグネトロンスパッタリングにおける磁界分布の影響
- 内部電極が挿入された対向電極型大電力パルススパッタプラズマの電気的特性
- 内部電極が挿入された対向電極型大電力パルススパッタ放電におけるイオン電流の圧力依存性
- 大電力パルスアンバランスドマグネトロンスパッタリングにおける磁界分布依存性
- 大電力パルススパッタリングプラズマ源
- 中央に穴のあるターゲットがパルススパッタリングの電気的特性に及ぼす影響
- 大電力パルスマグネトロンスパッタによる高密度メタルプラズマの生成と空間分布
- 大気圧プラズマジェットへの投入エネルギーの増大
- 内部電極が挿入された対向電極型大電力パルススパッタ放電におけるイオン電流の圧力依存性
- 大電力パルスアンバランスドマグネトロンスパッタリングにおける磁界分布依存性
- パルススパッタペニング放電におけるイオン電流の圧力依存性
- 中央に窪みのあるターゲットを用いた不平衡型パルスマグネトロンスパッタの圧力特性
- 中央に窪みのあるターゲットを用いた不平衡型パルスマグネトロンスパッタの圧力特性
- パルススパッタペニング放電における内部電極の接地抵抗が放電特性に及ぼす影響