井上 祐輔 | 兵庫県立大学

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概要

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• 同名の論文著者
• 兵庫県立大学の論文著者

関連著者

• 東 欣吾

  兵庫県立大

• 井上 祐輔

  兵庫県立大学

• 樋口 徹

  兵庫県立大学

• 奥原 大地

  兵庫県立大学

• 東 欣吾

  兵庫県立大学

著作論文

• 中央に穴のあるターゲットがパルススパッタリングの電気的特性に及ぼす影響
• パルススパッタペニング放電におけるイオン電流の圧力依存性
• 中央に窪みのあるターゲットを用いた不平衡型パルスマグネトロンスパッタの圧力特性
• 中央に窪みのあるターゲットを用いた不平衡型パルスマグネトロンスパッタの圧力特性
• パルススパッタペニング放電における内部電極の接地抵抗が放電特性に及ぼす影響

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