樋口 徹 | 兵庫県立大学

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概要

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• 兵庫県立大学の論文著者

関連著者

• 東 欣吾

  兵庫県立大

• 樋口 徹

  兵庫県立大学

• 井上 祐輔

  兵庫県立大学

• 中野 禅

  産業技術総合研究所

• 小木曽 久人

  産業技術総合研究所

• 中野 禅

  産業技術総合研

• 奥原 大地

  兵庫県立大学

• 行村 建

  産業技術総合研

• 小木曽 久人

  産総研

• 行村 建

  産業技術総合研究所

• 行村 建

  同志社大工

• 小木曽 久人

  (独)産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門集積加工研究グループ

• 東 欣吾

  兵庫県立大学

• 行村 健

  産業技術総合研究所

• 行村 建

  同志社大学工学部

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著作論文

• 内部電極が挿入された対向電極型大電力パルススパッタ放電におけるイオン電流の圧力依存性
• 内部電極が挿入された対向電極型大電力パルススパッタ放電におけるイオン電流の圧力依存性
• パルススパッタペニング放電におけるイオン電流の圧力依存性
• 中央に窪みのあるターゲットを用いた不平衡型パルスマグネトロンスパッタの圧力特性
• 中央に窪みのあるターゲットを用いた不平衡型パルスマグネトロンスパッタの圧力特性
• パルススパッタペニング放電における内部電極の接地抵抗が放電特性に及ぼす影響

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