根本 翔 | 茨城大学
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概要
関連著者
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佐藤 直幸
茨城大学
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池畑 隆
茨城大学
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根本 翔
茨城大学
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行村 建
同志社大学
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東 欣吾
兵庫県立大
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池畑 隆
茨城大学大学院理工学研究科応用粒子線科学専攻
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行村 建
同志社大工
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東 欣吾
兵庫県立大学
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行村 健
産業技術総合研究所
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安藤 龍哉
茨城大学
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深澤 孝嘉
茨城大学
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行村 建
産業技術総合研
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行村 建
産業技術総合研究所
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石塚 直夫
茨城大学
著作論文
- 負パルス-デュアルプラズマ法の基礎特性とポリマー表面改質への応用
- 大電力パルスマグネトロンスパッタによる高密度メタルプラズマの生成と空間分布
- プロセスチャンバー汚損内壁の環境調和型プラズマクリーニング法の検討
- 大電力パルスマグネトロンスパッタによる高密度メタルプラズマの生成と空間分布