29a-YX-9 プラズマソースイオン注入法による TiN 相の作製
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1997-03-17
著者
-
山崎 徹
兵庫県立大学大学院工学研究科物質系工学専攻
-
八束 充保
姫路工大工
-
三木 真一
姫路工業大学
-
橋本 好幸
神戸高専
-
山崎 徹
姫路工大工
-
内田 仁
姫路工大工
-
信原 貞男
姫路工大工
-
橋本 好幸
神戸市立高専
-
三木 真一
姫路工大工
-
山崎 徹
兵庫県立大学大学院工学研究科
-
山崎 徹
姫路工業大学
-
橋本 好幸
神戸市工高専
-
信原 貞男
姫路工業大学
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