725 イオンビーム支援蒸着法により成膜したTiN薄膜の破壊挙動(界面の破壊特性I,破壊の発生・進展とその解析・評価・計測,オーガナイスドセッション7)
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概要
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- 社団法人日本材料学会の論文
- 2011-05-24
著者
-
内田 仁
兵庫県立大学大学院工学研究科
-
内田 仁
姫路工業大学工学部
-
内田 仁
姫路工業大学工学部機械工学科
-
中谷 正憲
兵庫県立大
-
花木 聡
兵庫県立大学大学院
-
内田 仁
兵庫県立大学大学院
-
内田 仁
兵庫県立大学
-
花木 聡
兵庫県立大学
-
中谷 正憲
兵庫県立大学
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