高硬質(Ti,B)N薄膜の作製と構造解析

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著者

• 山下 正人

  姫路工大 大学院工学研究科

• 山下 正人

  住友金属工業株式会社総合技術研究所

• 山下 正人

  兵庫県立大学大学院工学研究科

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