天野 信之 | 同志社大学
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概要
関連著者
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行村 建
同志社大学
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天野 信之
同志社大学
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行村 建
同志社大学工学部
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政宗 貞男
京都工芸繊維大学
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Masamune Sadao
Institute Of Plasma Physics Nagoya University:department Of Electrical Engineering Kyoto Institute O
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門口 敏秀
同志社大学
著作論文
- RF放電中でのシャンティングプラズマ生成
- CH_4-RFプラズマ中で生成したDLC膜の特性 : 定常波及びバースト波の比較
- PBII法に用いるRFプラズマのイオンシース進展と電流解析
- バーストRFプラズマにおけるイオン電流解析