佐野 公謙 | 同志社大学
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概要
関連著者
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佐野 公謙
同志社大学
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行村 健
産業技術総合研究所
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行村 建
同志社大学
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丸山 敏朗
京都大学
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茶谷原 昭義
大阪工業技術研究所
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堀野 裕治
産総研
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木野村 淳
大阪工業技術
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木野村 淳
(独)産業技術総合研究所
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丸山 敏朗
京都大学大学院工学研究科
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黒岡 俊次
株式会社イオン工学研究所
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鈴木 泰雄
株式会社イオン工学研究所
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堀野 裕治
大阪工業技術研究所
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黒岡 俊次
イオン工学研究所
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寺本 智之
同志社大学
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堀野 裕治
独立行政法人産業技術総合研究所関西センター
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茶谷原 昭義
大阪工業技術研究所材料物理部
著作論文
- 窒素ガス中の直流チタンアーク放電を用いたプラズマイオン注入による窒化チタン膜コーティング(プラズマ・表面相互作用)
- 三次元形状物へのパルスイオン注入
- チタンプラズマパルスイオン注入法によるTiN薄膜生成