大野 一人 | 同志社大学工学部
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概要
関連著者
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ADLER R.
NSRC
著作論文
- エキシマレーザーアブレーション法による機能性薄膜の製作
- プラズマ中のイオン引出しによる三次元イオン注入技術
- 全方位型パルスイオン注入装置によるTi製膜
- 3次元イオン注入システムにおけるイオン電流のパラメータ依存性
- 一様垂直入射イオンビームによるTiの製膜
- パルス電圧印加を用いたイオン源の開発