PE-12 レーザー干渉縞の位相速度走査法による弾性波を用いたマイクロマシン構造要素の欠陥検出
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概要
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- 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会の論文
- 1999-11-17
著者
-
松本 壮平
機械技研
-
小木曽 久人
産総研
-
山中 一司
東北大学大学院工学研究科
-
長 秀雄
東北大学
-
佐藤 治道
機械技研
-
小木曽 久人
融合研
-
山中 一司
東北大(院)
-
佐藤 治道
産業技術総合研究所
-
長 秀雄
東北大(院)
-
山中 一司
東北大
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