超音波原子間力顕微鏡におけるスプリアスの抑制と水平曲げモードの定量解析
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
超音波原子間力顕微鏡(UAFM)の高精度化にはカンチレバーのスプリアス応答の抑制が重要である。スプリアスの主な原因はカンチレバーチップの基板のたわみ振動である。そこで制振板により基板の曲げ剛性を高める手法を提案する。その結果、共振周波数の測定精度が向上した。また水平曲げ1次(L1)モードの測定の再現性も改善した。L1モードは横接触弾性を選択的に評価できるので、たわみモードによる縦接触弾性の評価と組み合わせることで、UAFMによる組織や欠陥の方向性評価が可能になる。強誘電体単結晶PMN-PTの分域構造の評価に適用した結果、L1モードを用いた評価により分域境界でせん断弾性が著しく低下する現象が初めて見出された。
- 2006-07-05
著者
-
小針 健太郎
東北大学大学院工学研究科
-
辻 俊宏
東北大学大学院工学研究科
-
山中 一司
東北大学大学院工学研究科
-
山中 一司
東北大学工学研究科
-
小針 健太郎
東北大学大学院工学研究科:jst-crest
-
辻 俊宏
東北大学大学院工学研究科:jst-crest
-
Yamanaka Kazushi
Mechanical Engineering Laboratory:(present Address)department Of Materials Processing Tohoku Univers
-
井手 清志郎
東北大学大学院工学研究科材料システム工学専攻
関連論文
- 単結晶球を用いたボールSAW素子の波動伝搬解析
- 超音波デバイス 弾性表面波ガスクロマトグラフのための圧力ジャケットを用いたシリコンガラス陽極接合構造のパックドカラムの開発
- 1-06P-43 高調波の周波数分散を用い温度補正を行った直系1mm球状弾性表面波ガスセンサの応用(ポスターセッション 1)
- 2P5-16 軸外スピンコート法を用いたボールSAWセンサの感応膜の作製(ポスターセッション)
- 2P5-15 IDT位置を最適化した方位制御ボールSAW素子の開発と伝搬特性の評価(ポスターセッション)
- 2P5-14 多種類の揮発性有機化合物分析のためのボールSAWガスクロマトグラフシステム(ポスターセッション)
- ボールSAWセンサを用いたガスクロマトグラフシステムの開発
- 固体内超音波の非線形現象を利用した閉じたき裂の非破壊検査技術(非線形現象と計測,非線形音響の新展開論文)
- 3J3-2 IDTの方位と膜厚最適化によるボールSAW素子の高度化(圧電デバイス)
- 2P3-1 ボールSAWガスクロマトグラフのためのガス直進法の開発(ポスターセッション)
- 1P2-32 天然ガス分析のためのボールSAWガスクロマトグラフの開発(ポスターセッション)
- レーザによる超音波発生とその制御(光-超音波エレクトロニクス論文特集)
- レーザー超音波法を用いたTime of flight diffracton測定
- き裂評価のためのサブハーモニック超音波フェーズドアレイ(SPACE)へのレーザー干渉計の応用
- 3P2b-5 フォトリフラクティブ映像法による弾性波の可視化(ポスターセッション)
- 超音波原子間力顕微鏡による共振周波数とQ値分布の映像化
- サブハーモニック超音波フェーズドアレイSPACEを用いた閉じたき裂の映像化(非線形音響,一般)
- PdNi合金薄膜を用いたボールSAWセンサによる水素ガスの検出(音波物性・超音波計測技術)
- 2P2-14 大振幅超音波の偏向角制御と送受信一体型探触子シューによる閉じたき裂の分布観察(ポスターセッション)
- 1P2-27 異なる荷重における応答の差分を用いた閉じたき裂の非線形超音波映像法(ポスターセッション)
- 軸外スピンコート法で成膜した感応膜を用いる球状弾性表面波センサによる極性化合物の測定
- 超音波フェーズドアレイによる溶接金属中の欠陥映像化のための音響異方性の解析
- 非破壊検査 サブハーモニック超音波フェーズドアレイSPACEを用いた閉じたき裂の高精度計測
- 3J2c-1 サブハーモニック超音波フェーズドアレイSPACEを用いた閉じた応力腐食割れの計測(映像法/非破壊検査)
- 見えないき裂を超音波で測定--サブハーモニック超音波フェーズドアレイSPACEの開発
- 2-02-01 サブハーモニック超音波フェーズドアレイSPACEによる閉じたき裂の定量評価(測定技術・非破壊検査)
- き裂の非線形超音波映像法
- 閉じたき裂も見える超音波映像装置「SPACE」の開発
- P3-25 超音波の非線形応答による閉じたき裂画像化のための入射波振幅の最適化(ポスター発表)
- レーザーインパクトスキャナの開発とタイル・コンクリート系への適用
- 非線形超音波を用いた疲労き裂の評価
- 3-02P-03 ガス分離カラムを使ったボールSAWセンサによる混合ガスの定量分析法(ポスターセッション 3)
- 1-06-05 球状弾性表面波ガスクロマトグラフのためのマイクロ分離カラムの開発(弾性表面波デバイス)
- ガス分離カラムを用いたボールSAWセンサによる多種類ガスの応答解析
- 3J-5 ボールSAWガスクロマトグラフのための金属MEMSカラムの開発と評価(測定技術,映像法,非破壊評価)
- 1Pb-22 多種類の危険・有害ガス分析のためのボールSAWガスクロマトグラフの開発(ポスターセッション)
- 1Pb-36 ボールSAWデバイスにおける漏洩減衰と速度の圧力特性(ポスターセッション)
- 1Pa-26 超音波フェーズドアレイによる溶接金属中の欠陥映像化のための音響異方性の評価(ポスターセッション)
- 1Pa-23 荷重差分を用いた非線形超音波映像法による閉じた疲労き裂の測定(ポスターセッション)
- 球の表面に沿った弾性波の多重周回伝搬 : 軸受球の検査とball音響素子への応用
- OF02 球状弾性表面波デバイスの特性評価(弾性表面波デバイス)
- 球状弾性表面波センサーの可能性
- F06-(1) レーザー超音波法
- 球状物体の弾性表面波
- レーザー干渉縞の位相速度走査による集束超音波の励起
- ナノスケール弾性特性評価のための超音波原子間力顕微鏡(1)原理と複合材料の映像例
- PE-12 レーザー干渉縞の位相速度走査法による弾性波を用いたマイクロマシン構造要素の欠陥検出
- 軸受球の精密非破壊検査のための浮上自由共振法
- 3P8-20 カンチレバーの共振を利用した球体の精密回転マニピュレータの開発(ポスターセッション)
- 1-01P-04 SAWセンサ用有機感応膜の原子間力顕微鏡による評価(ポスターセッション 1)
- 非破壊検査 超音波原子間力顕微鏡による強誘電体材料の3次元的分域構造の観察--PMN-PT単結晶の脱分極組織とその表面電場による変化
- K-5 ガスクロを用いたボールSAWセンサの多種類ガスヘの応答解析(測定技術・映像法・非破壊検査)
- A-4 表面電極対で分極処理したPMN-PT結晶の分域組織(超音波物性・材料、フォノン)
- ボールSAW素子高度化のための電極接近制御による水晶球のSAW計測
- PE9 レーザー干渉縞の位相速度走査法を用いた弾性表面波発生法の高周波化(SAWデバイス,ポスターセッション1)
- OF3 シンプレックス法を用いた逆解析による弾性表面波の音速からの弾性率推定(非破壊評価)
- 622 疲労き裂の開閉挙動と端部回折波の関係
- 開口き裂の開閉とTOFD法の端部回折エコー強度の関係
- ボールSAW水素ガスセンサの開発
- レーザー超音波法による非接触超音波顕微鏡
- 304 非線形超音波を用いた疲労き裂開閉口挙動の解析
- 414 非線形超音波を用いた疲労き裂開閉口挙動の解析
- 1-06P-44 水晶球上のSAW周回現象の凹面電極接近による観測(ポスターセッション 1)
- 非接触IDTを用いた方位制御装置によるボールSAW素子の異方性解析
- SAWを用いた水素センサ : ボールSAWセンサ(表面特性評価のためのユニーク計測技術)
- ボールSAW素子の原理と応用
- 超音波原子間力顕微鏡における共振周波数とQ値の迅速測定法
- 超音波を用いた薄板鋼板のスポット溶接部評価
- 155 インコネルアロイ600単結晶および双結晶の超音波伝搬挙動
- 光弾性可視化法を用いた超音波受信波形シミュレータの構築
- 光弾性法とシュリーレン法の併用による超音波顕微鏡音場の可視化
- 415 光弾性可視化法を用いた固体内超音波波形の再構成
- 音響レンズを用いた表面波分離法による音速測定
- ナノスケール弾性特性評価のための超音波原子間力顕微鏡(2)カンチレバー共振周波数の解析
- 超音波原子間力顕微鏡におけるスプリアスの抑制と水平曲げモードの定量解析
- 表面電極対により分極処理を受けたPMN-PT単結晶分域構造の超音波原子間力顕微鏡観察
- モード選択性と指向性を改善したレーザー超音波法 : MEMSコンポーネントの評価
- E-4 超音波原子間力顕微鏡によるSi加工変質層の評価
- レーザーインパクト法によるタイル/コンクリート構造の振動映像化
- OE11 超音波原子間力顕微鏡による接触弾性の逆問題解析(材料・評価,SAWデバイス,口頭発表)
- サブハーモニック超音波フェーズドアレイSPACEを用いた閉じたき裂の映像化
- レーザー超音波による軸受球の非接触評価
- レーザー超音波による軸受球の健全性診断
- 「レーザー超音波の基礎と応用 II」刊行にあたって
- レーザー超音波法
- 弾性表面波の速度分散の逆問題解析による薄膜の弾性定数および膜厚の高精度同時推定
- ナノ領域の音響特性計測法 : 超音波原子間力顕微鏡の高精度化と材料物性計測への応用
- 非線形超音波映像法による閉じた疲労き裂の進展モニタリング(非破壊検査,アコースティックイメージング技術の新展開論文)
- C207 Ni基合金溶接金属中の応力腐食割れの超音波非破壊評価(亀裂の検査・モニタリング技術-(2),OS5 保全・設備診断技術),動力エネルギーシステム部門20周年,次の20年への新展開)
- 3Pa3-9 可搬型SAWガスクロマトグラフのための高精細メタルMEMSカラムの開発(ポスターセッション)
- 2Pa2-2 Ni基合金溶接金属中の閉口応力腐食割れのサブハーモニック超音波フェーズドアレイによる評価(ポスターセッション)
- 3Pa3-8 ボールSAWガスクロマトグラフを用いた10種類のガスの連続測定(ポスターセッション)
- 単一アレイのサブハーモニック超音波フェーズドアレイSPACEの開発とステンレス鋼溶接部の閉じた応力腐食割れの高選択性映像化
- 1J2-4 減衰2重節点モデルを用いた閉口き裂の非線型超音波映像の解析(測定技術,映像法,非破壊評価)
- 減衰2重節点を用いた閉口き裂における分調波発生の2次元解析
- 単一アレイサブハーモニック超音波フェーズドアレイによる応力腐食割れの高分解能映像化 (特集 明日の産業を照らす超音波検査技術(2))
- 減衰2重節点を用いた閉口き裂における分調波発生の2次元解析
- 3Pb2-8 ボールSWAセンサを用いた微量水分の測定(ポスターセッション)
- 1P2-7 ボールSAWセンサの応答の周波数依存性解析(ポスターセッション)
- C102 サブハーモニック超音波フェーズドアレイSPACEによるNi基合金溶接金属中の閉じたき裂の映像化と解析(OS6 亀裂検査および溶接技術)