SAWを用いた水素センサ : ボールSAWセンサ(<特集>表面特性評価のためのユニーク計測技術)
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概要
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- 公益社団法人精密工学会の論文
- 2007-08-05
著者
-
中曽 教尊
凸版印刷株式会社
-
山中 一司
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
Sim Dong
Ball Semiconductor Inc. Texas Usa
-
中曽 教尊
凸版印刷:jst-crest
-
吹浦 健
山武
-
山中 一司
東北大学工学研究科
-
吹浦 健
株式会社山武
-
沈 東演
株式会社Ball Semiconductor Inc.
-
Yamanaka Kazushi
Mechanical Engineering Laboratory:(present Address)department Of Materials Processing Tohoku Univers
-
吹浦 健
山武:jst-crest
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