ボールSAWセンサ

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概要

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• 球面上を伝搬する表面波は,自然に細い平行ビームを形成して多重周回する場合があることを見いだし,これを利用した高感度なガスセンサ(ボールSAWセンサ)を開発した.従来から水晶などの平面基板を用いた表面波センサが開発されているが,本センサはそれより感度が高い.そのため,ガスを吸収する感応膜が必要な場合もこれを薄くすることができ,応答速度や耐久性も向上する.最初の適用例として水素ガスセンサを開発した結果,表面波センサのみでなく,FETなど電気的センサや触媒を用いる化学センサも含む全水素センサの中で,最も広い検出濃度範囲を達成できた.その他,多種類の危険・有害ガスのセンサなど多くの応用が期待されている.

• 2008-12-01

著者

• 山中 一司

  東北大学未来科学技術共同研究センター

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