山中 一司 | 東北大学未来科学技術共同研究センター
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概要
関連著者
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山中 一司
東北大学未来科学技術共同研究センター
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中野 英俊
産業技術総合研究所
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永井 聰
産業技術総合研究所計測標準研究部門
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中曽 教尊
凸版印刷株式会社
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松田 洋一
産業技術総合研究所計測標準研究部門
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Sim Dong
Ball Semiconductor Inc. Texas Usa
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中曽 教尊
凸版印刷:jst-crest
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吹浦 健
山武
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山中 一司
東北大学工学研究科
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永井 聡
計量研
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吹浦 健
株式会社山武
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中野 英俊
産業技術総合研究所計測標準研究部門
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沈 東演
株式会社Ball Semiconductor Inc.
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松田 洋一
産業技術総合研究所 計測標準研究部門音響振動科強度振動標準研究室
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Yamanaka Kazushi
Mechanical Engineering Laboratory:(present Address)department Of Materials Processing Tohoku Univers
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永井 聰
産業技術総合研
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MATSUDA Youichi
National Research Laboratory of Metrology
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吹浦 健
山武:jst-crest
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Nagai Satoshi
Faculty Of Engineering Hokkai-gakuen University
著作論文
- レーザー超音波による精密音速測定と半導体プロセスの温度計測への応用
- SAWを用いた水素センサ : ボールSAWセンサ(表面特性評価のためのユニーク計測技術)
- ボールSAWセンサ
- ナノ領域の力学特性計測
- ボールSAWセンサの基盤技術確立 : 最高速のワイドレンジ水素センサ開発で, ボールSAWセンサの有用性実証 各種センサへ展開
- 球面上を多重周回する表面波を用いたガスセンサ : ボールSAWセンサ