ボールSAW素子高度化のための電極接近制御による水晶球のSAW計測
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概要
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伝搬距離が長く、損失の少ない高性能なボールSAWデバイスを実現するために、電極作成時の誤差が弾性表面波(SAW)周回に与える影響を、三次元異方性解析有限要素コードを用いて解析した。また正確な方位に電極を加工するために2軸の方位制御装置を開発し、IDTの接近制御によるSAW周回伝搬の計測を行った。さらに解析によって-Y軸等価方位を決定して、方位の同定を試みた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2006-09-14
著者
-
中曽 教尊
凸版印刷株式会社
-
辻 俊宏
東北大学大学院工学研究科
-
山中 一司
東北大学大学院工学研究科
-
山中 一司
東北大学
-
三原 毅
東北大学大学院
-
大木 恒郎
凸版印刷:jst-crest
-
中曽 教尊
凸版印刷:jst-crest
-
吹浦 健
山武
-
三原 毅
富山大工
-
山中 一司
東北大学工学研究科
-
甲斐 智司
東北大学
-
吹浦 健
株式会社山武
-
三原 毅
富山大学
-
辻 俊宏
東北大学大学院工学研究科:jst-crest
-
大手 一憲
東北大学大学院工学研究科
-
大木 恒
凸版印刷株式会社
-
佐藤 一太郎
株式会社山武
-
田中 秀一
株式会社山武
-
Yamanaka Kazushi
Mechanical Engineering Laboratory:(present Address)department Of Materials Processing Tohoku Univers
-
三原 毅
東北大学 工学部
-
吹浦 健
山武:jst-crest
-
大手 一憲
東北大学:jst-crest
-
辻 俊宏
東北大学
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