非破壊検査 超音波原子間力顕微鏡による材料表層のナノスケール欠陥評価--10ナノメートルの空間分解能で表面の弾性と表面下の欠陥の観察を可能にする

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概要

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著者

• 山中 一司

  東北大学

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