ガス分離カラムを用いたボールSAWセンサによる多種類ガスの応答解析
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概要
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環境計測やセキュリティーの分野では、多種類の危険・有害ガスを高感度に検知する必要がある。我々は小型、高感度が特徴であるボールSAWセンサをガスクロマトグラフィ(GC)の分離カラムと組み合わせることにより、携帯可能な多種類ガス検出システムを開発している。ボールSAWセンサの適応範囲は広げるため、ガス感応膜として従来のPdNi合金膜に加え、ポリイソプチレン(PIB)の膜を製膜し、ボールSAWセンサの応答特性を評価した。その結果、飽和炭化水素の測定において感度の向上がみられ、多種類ガスセンサに応用できる可能性が高まった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-09-21
著者
-
赤尾 慎吾
東北大学大学院工学研究科
-
佐久間 正典
東北大学大学院工学研究科
-
辻 俊宏
東北大学大学院工学研究科
-
山中 一司
東北大学大学院工学研究科
-
山中 一司
東北大学
-
Sim Dong
Ball Semiconductor Inc. Texas Usa
-
沈 東演
ボールセミコンダクター(株)
-
竹田 宣生
ボールセミコンダクター(株)
-
中曽 教尊
凸版印刷:jst-crest
-
赤尾 慎吾
東北大工:凸版印刷:jst-crest
-
吹浦 健
山武
-
山中 一司
東北大学工学研究科
-
野口 和洋
凸版印刷(株)総合研究所 次世代商品研究所
-
岩田 尚也
東北大学
-
野口 和洋
科学技術振興機構
-
中曽 教尊
科学技術振興機構
-
吹浦 健
株式会社山武
-
佐久間 正典
東北大学大学院工学研究科:jst-crest
-
辻 俊宏
東北大学大学院工学研究科:jst-crest
-
Yamanaka Kazushi
Mechanical Engineering Laboratory:(present Address)department Of Materials Processing Tohoku Univers
-
岩田 尚也
東北大学:科学技術振興機構
-
竹田 宣生
ボールセミコンダクター株式会社
-
吹浦 健
山武:jst-crest
-
辻 俊宏
東北大学
-
赤尾 慎吾
東北大学:凸版印刷
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