単結晶球を用いたボールSAW素子の波動伝搬解析
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概要
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我々は球に精度良くSAW発生と検出の変換器を作製するため、3次元の音場解析に基づいて球面露光装置を試作し、設計の高度化とセンサの高感度化を試みている。これまでに極座標系要素を持つ3次元音場解析装置を開発し、結晶軸のずれが周回伝搬に及ぼす影響を解明した。しかし、結晶方位を決定するために用いる60度周期の音速変化の計測精度には課題があった。そこで本研究では、上記有限要素コードをXY軸に対する方位計測の理論的検証に用いる目的で、水晶球の物性定数を用いた計算により上記コードの精度検証を行う。
- 2006-11-07
著者
-
赤尾 慎吾
東北大学大学院工学研究科
-
中曽 教尊
凸版印刷株式会社
-
辻 俊宏
東北大学大学院工学研究科
-
山中 一司
東北大学大学院工学研究科
-
三原 毅
東北大学大学院
-
中曽 教尊
凸版印刷:jst-crest
-
赤尾 慎吾
東北大工:凸版印刷:jst-crest
-
三原 毅
富山大工
-
山中 一司
東北大学工学研究科
-
甲斐 智司
東北大学
-
三原 毅
富山大学
-
辻 俊宏
東北大学大学院工学研究科:jst-crest
-
甲斐 智司
東北大学大学院工学研究科
-
大手 一憲
東北大学大学院工学研究科
-
岩田 尚也
東北大学大学院工学研究科
-
Yamanaka Kazushi
Mechanical Engineering Laboratory:(present Address)department Of Materials Processing Tohoku Univers
-
岩田 尚也
東北大学:科学技術振興機構
-
大手 一憲
東北大学:jst-crest
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