球状弾性表面波センサーの可能性
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概要
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球面上を伝搬する表面波のビームにおいて幾何学的な集束効果にのため回折が抑えられ、良く集束したビームが球面を何周にもわたって伝搬することを見出した。直径80mmのガラス球を用いた実験で表面波の伝搬の様子を観測し、上記の効果を実験的に確認した。直径12.5mmの窒化硅素(Si3N4)の球面上に酸化亜鉛(ZnO)の圧電膜と周期200μmで4対の櫛形電極(IDT)からなる弾性表面波トランスデューサを形成し、球状弾性表面波デバイスを試作した。高い精度を有する小型の弾性表面波センサーを実現できる可能性があると思われる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-09-12
著者
-
山中 一司
東北大学大学院工学研究科
-
中曽 教尊
凸版印刷(株)
-
中曽 教尊
凸版印刷:jst-crest
-
塚原 祐輔
凸版印刷(株)総研
-
塚原 祐輔
凸版印刷総合研究所
-
塚原 祐輔
凸版印刷(株)総合研究所
-
長 秀雄
東北大学大学院 工学研究科
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