モード選択性と指向性を改善したレーザー超音波法 : MEMSコンポーネントの評価

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概要

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• 応用物理学会分科会日本光学会の論文
• 2005-02-10

著者

• 山中 一司

  東北大学大学院工学研究科

• 山中 一司

  東北大学

• 佐藤 治道

  産業技術総合研究所

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