球状弾性表面波素子におけるスプリアスバルク波の解析
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概要
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球の弾性表面波(SAW)の無回折伝搬を利用した球状弾性表面波(ball SAW)素子の設計指針を得るため、球の弾性波伝搬特性の理論及び実験的解析を行った。初めに、熱弾性モードおよびアブレーションモードのレーザー励起による弾性波の変位を精度良く再現でき、計算の妥当性を検証できた。次に面内および面外応力により励起した弾性波を比較した結果、バルク波は面外応力の場合の方が伝搬モードの個数が多く、SAWに対する相対振幅も大きいことが分かった。すなわち、伝搬角φが0°、90°とにおける面外応力の場合のバルク波の相対振幅の平均値は、面内応力に対してそれぞれ1.67倍、3.1倍あった。また、この理由は面外応力の場合のバルク波の指向性が広いためであることが分かった。以上より、ball SAW素子には、面内方向の応力が優勢となるようにすだれ状電極の形成や圧電材料の選定を行う必要があることが分かった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2002-09-12
著者
-
中曽 教尊
凸版印刷:jst-crest
-
山中 一司
東北大院工
-
石川 暁
東北大院工
-
塚原 祐輔
凸版印刷総合研究所
-
塚原 祐輔
凸版印刷(株)総合研究所
-
中曽 教尊
凸版印刷総研
-
長 秀雄
東北大院工
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