An Equivalent Circuit Model for Vertical Comb Drive MEMS Optical Scanner Controlled by Pulse Width Modulation
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概要
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- 2012-01-01
著者
-
Mita Makoto
Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo
-
Fujimori Hiroyasu
Institute Of Material Research Tohoku University
-
Toshiyoshi Hiroshi
Iis. Univ. Of Tokyo
-
Toshiyoshi Hiroshi
3rd Department Institute Of Industrial Science University Of Tokyo
-
Fujita Hideki
Institute Of Plasma Physics Nagoya University
-
Mita M
Iis. Univ. Of Tokyo & Crest/jst
-
Fujita H
Jfcc
-
Fujita Hideki
Electric Power Research & Development Center Chubu Electric Power Co. Inc.
-
Fujita H
Center For International Research On Micromechatronics (cirmm) Institute Of Industrial Science (iis)
-
Fujita Hiroyuki
Institude Of Industrial Science The University Of Tokyo Fujita Lab.
-
Toshiyoshi Hiroshi
Inst. Of Industrial Sci. The Univ. Of Tokyo
-
藤田 寛治
Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo
-
MARUYAMA Satoshi
Institute of Industrial Science, The University of Tokyo
-
Maruyama Satoshi
Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo
-
NAKADA Muneki
Institute of Industrial Science, The University of Tokyo
-
TAKAHASHI Takuya
Institute of Industrial Science, The University of Tokyo
-
TOSHIYOSHI Hiroshi
Research Center for Advanced Science and Technology, The University of Tokyo
-
Nakada Muneki
Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo
-
Takahashi Takuya
Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo
-
Toshiyoshi Hiroshi
Research Center for Advanced Science and Technology (RCAST), The University of Tokyo
-
藤田 寛治
佐賀大学理工
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