A Piezoelectric Quartz Microactuator for a Large Pseudo-Static Displacement
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概要
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- 社団法人応用物理学会の論文
- 1994-12-15
著者
-
Fujita H
Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo
-
Ueda Toshitsugu
Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo:yokogawa Electric Corporation
-
TOSHIYOSHI Hiroshi
Institute of Industrial Science, The University of Tokyo
-
FUJITA Hiroyuki
Institute of Industrial Science, The University of Tokyo
-
KOBAYASHI Dai
Institute of Industrial Science, University of Tokyo
-
Toshiyoshi Hiroshi
Iis. Univ. Of Tokyo
-
Toshiyoshi Hiroshi
Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo
-
Toshiyoshi Hiroshi
3rd Department Institute Of Industrial Science University Of Tokyo
-
Kobayashi Dai
Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo
-
Fujita Hiroyuki
Institude Of Industrial Science The University Of Tokyo Fujita Lab.
-
Toshiyoshi Hiroshi
Inst. Of Industrial Sci. The Univ. Of Tokyo
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