Observation of an Inductively Coupled RF Discharge with One-Turn Internal Antenna
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概要
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Inductively coupled plasma (ICP) has been studied in a low-pressure argon gas (5 mTorr) by measuring radio frequency (RF) potential oscillation with an emissive probe and two-dimensional electron velocity distribution functions (EVDFs) with a directional analyzer. The ICP discharge was realized with one-turn antenna coil using a simple model for understanding its fundamental characteristics. The amplitude of RF potential oscillation decreased as the input power was increased leading to a mode conversion from capacitively coupled plasma (CCP) to ICP discharge. The two-dimensional EVDFs measurement suggests that the observed high energy electrons are radiated from the antenna coil.
- 社団法人応用物理学会の論文
- 2002-05-15
著者
-
Fujita H
Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo
-
藤田 寛治
佐賀大学
-
Fujimori Hiroyasu
Institute Of Material Research Tohoku University
-
Fujita H
Center For International Research On Micromechatronics (cirmm) Institute Of Industrial Science (iis)
-
藤田 寛治
Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo
-
Fujita Hiroharu
Department Of Electrical & Electronic Engineering Saga University
-
CICMAN Peter
Department of Electrical and Electronic engineering, Saga University
-
Cicman P
Department Of Electrical And Electronic Engineering Saga University
-
Cicman Peter
Department Of Electrical And Electronic Engineering Saga University
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